エッチング加工

ガラス基板ケミカルエッチング加工

1.外形加工(MFG-OGS加工)

 

    弊社の独自エッチング技術により、加工の自由度と滑らかなエッジ形状、更に高い曲げ強度を実現しました

 

 

 

 

 

 

2.Clear-AG(Low Haze AG glass)加工

    ケミカルエッチング加工により、ガラスへのAG処理と低ヘイズの両立を達成。

    ヘイズ値の制御も自由に可能になりました。

 

 

 

 

3.形状掘り込み加工(キャップガラス)

    様々な形状や溝などをエッチング加工で形成。

 

対応可能寸法・加工精度

 加工寸法(外径寸法)  min 100.0X100.0mm ~ max  450X600mm
   掘り込み加工精度(公差) 加工寸法

 ±0.2mm~0.4mm (材質・加工条件による)

 掘り込み加工精度(公差) 加工深さ  加工深さ±10%   (例 深さ500μm → ±50μm)

 

 

 

 

       エッチング後に、切断機(小板切断機)にてチップ化も可能です。

 

 

4.スリミング加工(薄型化)

 

対応可能寸法・加工精度

最大加工サイズ 550mmX650mm
最小加工サイズ 370mmX470mm
仕上がり加工精度 ターゲット厚さに対して±10%以内

 

5.その他加工

 ① AS(防汚)コーティング装置

 

   特徴

    ◆独自の反転接触塗布方式

    ◆塗布方式の為、AS材料の無駄が無い         

    ◆裏面への溶剤回り込み対策が不要

    ◆マザーガラスから小片まで多様なサイズに対応

    ◆密着性に優れた被膜を実現

    ◆オプションで付着異物除去も可能

    ※本装置に適したAS塗布材料は開発済み         

 

 

 

 ② 医療用マイクロ流路

    エッチング液、エッチング装置の開発中

    (目標)L/D=1;1、エッチング角度 >70°

 

 ③ 超薄板ガラス加工

    厚さ 50μm以下のガラスの外形加工 (実製品の試作トライ中)

 

その他

  • 付帯設備 

  ・ガラス基板精密洗浄

   ①11槽式超音波洗浄機によるガラス基板洗浄。(対応最大サイズ 500mmX600)

   クリーンルーム(クラス1,000/at 0.5μ)と併設しており、洗浄後のクリーンルームでの検査・

   梱包も対応可能。

   

   ②6槽式超音波洗浄(対応最大サイズ 150mmX150mm)

   小板ガラス用洗浄器。隣接するクリーンブース内での検査・梱包に対応します。

 

  ・Cr膜剥離装置

   対応可能最大サイズ 420mmX300mm